潔淨室物流系統
 
 
潔淨室自動倉儲(STOCKERS)
適用於潔淨等級較高的環境,可作為各設備間貨物的轉運站或暫存區域。

 
卡匣輸送線
適用於整個卡匣的跨區搬送,如OHCV、MGV...等。