適用產業: 光電業、半導體業、電子、綠能、生化醫藥
功能特色:
· 潔淨度可達Class 10
· 非接觸式供電
· 多馬達同步運轉控制
· 雷射座標精確定位
· 可雙主機(Dual Crane)同軌作業
· 振動量0.3G
· 雙臂肘節式叉臂
· 磁流密封