適用於整個卡匣的跨區搬送,如OHCV、MGV...等。 適用產業: 光電業、半導體業、電子、綠能
功能特色:
· 潔淨度可達Class 10
· 振動量0.3G
· 等速升降連桿機構
· 雙臂肘節式叉臂
· 磁流密封