โซลาร์เซลล์, เซมิคอนดักเตอร์, อิเล็กทรอนิกส์,
พลังงานสีเขียว
คุณสมบัติ :
· ความสะอาดระดับ 10 (Class 10 cleanness)
· การสั่นสะเทือน < 0.3g
· เชื่อมโยงการควบคุมการยก
· ข้อต่อส้อมโลหะคู่ (Double toggle joint fork)
· แม่เหล็กไฟฟ้าปิดผนึกของเหลว (Magnetic fluid seal)